[发明专利]一种射频微放电长尺度等离子体产生装置及方法在审
| 申请号： | 201910166664.8 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN109769335A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 高飞;黄就欢;王友年 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张德才 |
| 地址： | 116000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频微放电长尺度等离子体产生装置及方法，包括石英管，石英管的一端密封连接有进气真空腔室，石英管的另一端密封连接有出气真空腔室，石英管上按照从进气真空腔室至出气真空腔室的方向依次套设有接地电极、高压电极和放电线圈，高压电极和放电线圈的近端导通，高压电极通过同轴传输线连接射频电源系统，接地电极、放电线圈的远端与公共地连接。本发明结合了平板电极和放电线圈这两种放电形式，在高压电极的下游增加了放电线圈，从而提高了射频放电时在中、高气压下的稳定性和等离子体间距，使得本发明可以实现中、高气压下，小气流和小射频功率下长尺度、放电轴向均匀的等离子体的产生和维持。 | ||
| 搜索关键词： | 放电线圈 高压电极 真空腔室 石英管 等离子体产生装置 等离子体 接地电极 一端密封 尺度 出气 高气压 微放电 进气 射频 同轴传输线 放电形式 平板电极 射频电源 射频放电 射频功率 放电轴 公共地 小气流 导通 近端 远端 | ||
【主权项】：
1.一种射频微放电长尺度等离子体产生装置，其特征在于：包括石英管，所述石英管的一端密封连接有进气真空腔室，所述石英管的另一端密封连接有出气真空腔室，所述石英管上按照从所述进气真空腔室至所述出气真空腔室的方向依次套设有接地电极、高压电极和放电线圈，所述高压电极和所述放电线圈的近端导通，所述高压电极通过同轴传输线连接射频电源系统，所述接地电极、所述放电线圈的远端与公共地连接。
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