[发明专利]一种自动找寻干涉条纹的方法和装置有效
| 申请号： | 201910164501.6 | 申请日： | 2019-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN109883355B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 张和君;霍阔 | 申请（专利权）人： | 深圳市中图仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种自动找寻干涉条纹的方法和装置，其中方法包括如下步骤：对白光干涉扫描图像在Z向等间隔依次采集图片，选取其中连续的N张图片，计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值；所述N为大于或等于3的整数；计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的信噪比；依据当前第n帧图片的像素条纹的特征值与信噪比对当前状态进行检测；根据不同Z向位置的图片对应的像素条纹的特征值与信噪比，检测得到条纹干涉最亮的Z向位置和条纹干涉消失的Z向位置。采用本发明的技术方案，通过自动找寻并定位至干涉位置，从而实现安全、高效的找寻过程，无需操作人员实时操作和观察，省时省力，效率高，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 找寻 干涉 条纹 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种自动找寻干涉条纹的方法，其特征在于：其包括以下步骤：步骤S1，对白光干涉扫描图像在Z向等间隔依次采集m张图片，依次选取其中连续的N张图片，所述N为大于或等于3的整数；步骤S2，根据选取的N张图片，计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值；所述第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值为第n帧图片对应所述图像的每个或选定像素位置上、Z向图片序列的第n‑|N/2|～n+|N/2|帧图片的灰度标准差，其中，|N/2|+1≤n≤m‑|N/2|；步骤S3，计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的信噪比；步骤S4，依据当前第n帧图片的像素条纹的特征值与信噪比对当前状态进行检测；步骤S5，根据不同Z向位置的图片对应的干涉状态及像素条纹的特征值与信噪比，检测得到条纹干涉最亮的Z向位置和条纹干涉消失的Z向位置。
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