[发明专利]一种增强热效应的亚太赫兹波探测器

摘要

本发明涉及一种增强热效应的亚太赫兹波探测器，包括衬底层，衬底层的上方设置有引线电极以及对数周期天线，对数周期天线的两臂与对应的引线电极电连接，对数周期天线的两臂通过石墨烯导电层形成导电沟道；对数周期天线的上方设置有介质层，介质层上设置有劈裂栅极，以及与劈裂栅极电连接的引线电极；衬底层位于对数周期天线的两臂的下方设置有聚光腔；该增强热效应的亚太赫兹波探测器通过反射光波，对数周期天线能够再次吸收光波，增强了对数周期天线对光波的吸收，能够将更多的光波转化为热能，这样石墨烯导电层就可以吸收更多的热量，从而使得石墨烯导电层灵敏度提高，提高了亚太赫兹波探测器的灵敏度。

主权项

1.一种增强热效应的亚太赫兹波探测器，包括衬底层(1)，其特征在于：所述衬底层(1)的上方设置有相互间隔的引线电极(2)以及对数周期天线(3)，所述对数周期天线(3)的两臂分别与对应的引线电极(2)电连接，所述对数周期天线(3)的两臂通过石墨烯导电层(6)形成导电沟道；所述对数周期天线(3)的上方设置有介质层(4)，所述介质层(4)上设置有劈裂栅极(5)，以及与劈裂栅极(5)电连接的引线电极(2)；所述衬底层(1)位于对数周期天线(3)的两臂的下方设置有聚光腔(7)。