[发明专利]基于级联自适应光学的光学自由曲面面形干涉测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201910150114.7 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109781032B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 贾书海;董君;于洪强 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G01B9/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于级联自适应光学的光学自由曲面面形干涉测量装置及测量方法，利用级联的可变形镜实现参考光的大曲率波前调制，并采用光学干涉原理对大面积大曲率被测自由表面面形进行测量；从而使得参考光波与物光波产生相似或一致的波前，通过在图像探测器上产生稀疏的干涉条纹，并综合利用定量已知的参考光波前信息和干涉条纹信息可以获得被测自由曲面面形；该测量装置及方式简单高效、适用于大面积大曲率光学自由曲面的自适应测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 级联 自适应 光学 自由 曲面 干涉 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1.基于级联自适应光学的光学自由曲面面形干涉测量装置，其特征在于，包括激光器(1)、第一准直扩束镜(2)、干涉测量单元、级联的可变形镜单元和控制终端(16)；所述级联的可变形镜单元，包括第一反射镜(13)、第二反射镜(15)和N级可变形镜，N≥2；在每级可变形镜的表面上方都设有一个用于检测可变形镜面形的检测装置，且该检测装置能够将检测的数据实时反馈至控制终端(16)；所述干涉测量单元，包括第一分光棱镜(3)、第二分光棱镜(4)及设置在二者之间的中继镜(19)，在被测自由表面(18)和第一分光棱镜(3)之间设有第一成像镜头(17)，在第二分光棱镜(4)的出射光路上还设有图像探测器(5)；在第二反射镜(15)和第二分光棱镜(4)的光路上还设有第二成像镜头(20)；激光器(1)发出的激光被准直扩束镜(2)准直扩束后经第一分光棱镜(3)分成两束光，一束光由被测自由表面(18)反射后作为物光照射到图像探测器(5)上；另一束光经级联的可变形镜单元波前调制后作为参考光入射到图像探测器(5)上；物光和参考光的干涉条纹被图像探测器(5)记录。
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