[发明专利]一种用于静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜及其制作方法

摘要

本发明公开了一种用于静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜及其制作方法，包括以下步骤：取用立体分光镜，所述立体分光镜包括依次相邻设置的第一平面、第二平面、第三平面和第四平面，所述第一平面为进光面，所述第二平面、第三平面和第四平面为出光面，所述第一平面垂直于第二平面设置，所述第三平面垂直于第四平面设置；使用光学冷加工工艺对所述第二平面加工并获得倾斜面，得到斜面分光镜；通过离子束刻蚀法在所述倾斜面上刻蚀出阶梯表面；在所述阶梯表面和所述第三平面上镀反射膜。其结构简单紧凑，而且具有更好的稳定性，精度高。

主权项

1.一种用于静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜，其特征在于，包括第一直角棱镜和第二直角棱镜；所述第一直角棱镜具有第一斜面，所述第二直角棱镜具有第二斜面，所述第一斜面与第二斜面贴合设置且所述第一斜面与第二斜面的贴合面为半透面；所述第一直角棱镜包括互相垂直的第一平面和第二平面，所述第二直角棱镜包括互相垂直的第三平面和第四平面；所述第二平面与第三平面相邻设置，所述第一平面与第四平面相邻设置；所述第二平面上设置有阶梯表面，所述阶梯表面和第三平面上皆镀有反射膜；光线垂直于所述第一平面入射，之后经所述半透面分光成参考光束和测试光束；所述参考光束经第三平面反射后折回，并由所述半透面反射后由第四平面射出；所述测试光束经阶梯表面反射，并经所述半透面从第四平面射出。