[发明专利]研磨装置有效
| 申请号： | 201910120242.7 | 申请日： | 2014-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110076683B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 丸山徹;松尾尚典;本岛靖之 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/015 | 分类号： | B24B37/015;B24B37/27;B24B37/34;B24B55/03 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种通过调整研磨垫的表面温度可使研磨率提高，并且也可控制研磨的基板的研磨轮廓的研磨方法及研磨装置。将基板按压在研磨台上的研磨垫上来研磨基板的研磨方法具备：研磨垫(3)的表面温度调整工序，其是调整研磨垫(3)的表面温度的工序；及研磨工序，其是在调整后的表面温度下将基板按压在研磨垫(3)上来研磨基板；研磨垫(3)的表面温度调整工序，为调整基板接触的研磨垫(3)的一部分区域的表面温度，以使在研磨工序中，在研磨垫(3)的表面的径向上的温度轮廓的温度变化率在研磨垫径向保持一定。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，是将基板按压在研磨台上的研磨垫上来研磨基板的研磨装置，其特征在于，具备：顶环，该顶环将所述基板按压在所述研磨台上的所述研磨垫上；垫接触部件，该垫接触部件与所述研磨垫的表面接触并对研磨垫进行加热或冷却；以及液体供给系统，该液体供给系统将温度调整后的液体供给至所述垫接触部件,所述液体供给系统具有：调温机,该调温机供给温水；温水供给管线,该温水供给管线将从所述调温机供给的温水供给至所述垫接触部件；冷水供给管线,该冷水供给管线将冷水供给至所述垫接触部件；第一阀,该第一阀设于所述温水供给管线；以及第二阀,该第二阀设于所述冷水供给管线，所述液体供给系统通过切换所述第一阀和所述第二阀而将所述温水和所述冷水选择性地供给至所述垫接触部件。
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