[发明专利]在部件承载件材料中制造具有低偏移的通孔在审
| 申请号： | 201910100388.5 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN111508923A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 阿卜德尔拉扎克·伊菲斯;尼古劳斯·鲍尔 | 申请（专利权）人： | 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/498 | 分类号： | H01L23/498;H01L21/48 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦;洪玉姬 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种部件承载件(100)和制造该部件承载件的方法，该部件承载件包括电绝缘层结构(102)和通孔(112)，该通孔延伸穿过电绝缘层结构(102)并且包括在电绝缘层结构(102)的前侧(106)中的渐缩的第一部分孔(114)以及在电绝缘层结构(102)的后侧(110)中的渐缩的第二部分孔(120)，其中，电绝缘层结构(102)的厚度(D)小于100μm，并且第一部分孔(114)的中心(116)与第二部分孔(120)的中心(118)之间的横向偏移(L)小于15μm。 | ||
| 搜索关键词： | 部件 承载 材料 制造 具有 偏移 | ||
【主权项】：
暂无信息
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