[发明专利]半导体存储器装置及半导体存储器装置的制造方法有效

专利信息
申请号: 201910093659.9 申请日: 2019-01-30
公开(公告)号: CN110880512B 公开(公告)日: 2023-10-10
发明(设计)人: 中木宽 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H10B41/27 分类号: H10B41/27;H10B43/27
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 杨林勳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式提供一种能够增大每单位面积的存储容量的半导体存储器装置及半导体存储器装置的制造方法。实施方式的半导体存储器装置包含多个第1导电体层、第2导电体层、第1半导体层、第2半导体层、及积层体。多个第1导电体(23)在第1方向上相互隔开地配置,且分别沿与第1方向交叉的第2方向延伸。第2导电体层24相对于多个第1导电体层中的最上层向上方隔开地配置。第1半导体层(31)沿第1方向延伸。积层体32在第2方向上配置在第1半导体层与多个第1导电体层之间及第1半导体层与第2导电体层之间,且包含电荷蓄积层。第2半导体层33配置在积层体与第2导电体层间。第1半导体层至少从与第1导电体层的最上层对向的部分至与第2导电体层对向的部分为止为连续膜。
搜索关键词: 半导体 存储器 装置 制造 方法
【主权项】:
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