[发明专利]一种基于三角微腔双路F-P干涉补偿的气体传感探头有效
| 申请号： | 201910072881.0 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN109632715B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 李晋;隋政麒;李周兵 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 陈玲玉;梅洪玉 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于三角微腔双路F‑P干涉补偿的气体传感探头，该探头包括光路腔室和检测腔室，两个腔室被密封板隔离开，其中光路腔室包括光源，由其发出的光经过分光棱镜后，再经过凸透镜聚焦准直，从检测腔室返回的光信号由光探测器接收。检测腔室由光纤结构、栅隔支架、进气口和出气口构成，光纤结构的一端构建了气体检测室，为了提高反射率在光纤结构的端头涂覆了金膜反射层。本发明可以通过双路F‑P干涉信号的差分处理实现温度的自补偿，使探头工作时不受环境温度的影响，该探头结构紧凑、体积小，可以实现在狭小空间内的安装和气体泄漏的实时监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 三角 微腔双路 干涉 补偿 气体 传感 探头 | ||
【主权项】：
1.一种基于三角微腔双路F‑P干涉补偿的气体传感探头，其特征在于，该探头包括光路腔室(1)和检测腔室(2)，两个腔室被密封板(3)隔离开；光路腔室(1)包括光源(4)，检测腔室(2)由光纤结构(8)、栅隔支架(11)、进气口(12)和出气口(13)构成，光纤结构(8)的一端构建有气体检测室(9)；光纤结构(8)的端头涂覆了金膜反射层(10)；光源(4)发出的光经过分光棱镜(5)后，再经过凸透镜(7)聚焦准直，从检测腔室(2)返回的光信号由光探测器(6)接收。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东北大学，未经东北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910072881.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
