[发明专利]一种基于拉链梳齿的MEMS驱动器及其工作方法

摘要

本发明涉及一种基于拉链梳齿的MEMS驱动器及其工作方法，属于微机电技术领域，包括可动部分、固定梳子、固定锚点和基底层，固定梳子和固定锚点均固定于基底层；固定梳子与可动梳子成对交叉分布，施加电压时，可动部分绕同一平面内驱动器外侧一个虚轴点旋转。相比于现有技术，该驱动器采用了拉链梳齿结构，同一梳子上，不同半径的梳齿对应圆心角不同，不同于一般的拉链梳齿，半径越小对应圆心角越小，由半径大的梳齿先驱动，带动半径小的梳齿驱动，有助于减小由于衍架厚度造成的小半径梳齿位移限制，充分利用梳齿间旋转空间，精简结构，该驱动器还可应用于外腔可调谐激光器，可以安装上光栅或者平面镜，实现激光器的窄线宽，无跳模调谐。

主权项

1.一种基于拉链梳齿的MEMS驱动器，其特征在于，包括可动部分、固定梳子、固定锚点和基底层，所述固定梳子和固定锚点均固定于所述基底层；所述可动部分包括径向衍架、弧向衍架、连接部分、可动梳子和弹性梁，所述弧向衍架设置在以虚轴点为圆的圆弧位置上，所述径向衍架沿半径方向设置，所述径向衍架包括与可动梳齿连接的第一径向衍架和与所述连接部分的聚合端连接的第二径向衍架，所述第一径向衍架和第二径向衍架与弧向衍架在交点处连接，所述连接部分的聚合端是以虚轴点为圆心的扇形，其侧端以所述第二径向衍架为边；所述可动梳子包括多个可动梳齿，多个可动梳齿通过所述第一径向衍架连接，所述弹性梁沿以虚轴点为圆的半径方向设置，所述弹性梁的固定端与所述固定锚点连接，所述弹性梁的自由端与连接部分的聚合端连接；所述固定梳子包括固定梳齿和连接梁，所述固定梳齿一侧通过连接梁连接，所述固定梳齿与可动梳齿的长均为以虚轴点为圆心的弧；所述固定梳子与可动梳子成对交叉分布，其对数为4对，每对固定梳子与可动梳子中，距离虚轴点由近及远，其梳齿的弧长逐渐增大，未施加电压时，每对固定梳子与可动梳子靠虚轴点的一部分未交叉，远离虚轴点的另一部分互相交叉。