[发明专利]微机电泵模块有效
| 申请号： | 201910067180.8 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN111472963B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;陈宣恺 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微机电泵模块，包含微机电芯片、多个微机电泵、多个开关单元以及多个控制电极。微机电芯片具有芯片本体，芯片本体是具有一长边的长方形。至少一信号电极设置于芯片本体并邻近长边。多个微机电泵皆具有第一电极与第二电极，第二电极电连接至少一信号电极。多个开关单元电连接多个微机电泵的第一电极。多个控制电极设置于芯片本体并邻近长边且分别电连接多个开关单元。至少一信号电极接收调变电压以传输至多个微机电泵的第二电极，多个开关单元用以控制多个微机电泵启闭作动。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 模块 | ||
【主权项】：
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