[发明专利]具有三维微纳结构的全固态薄膜燃料电池的制备方法有效
| 申请号： | 201910066263.5 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN109755615B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 李致朋;区定容 | 申请（专利权）人： | 深圳市致远动力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01M8/1213 | 分类号： | H01M8/1213;H01M8/122 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 黄志云 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三维结构的全固态薄膜燃料电池的制备方法，包括以下步骤：在第一衬底的至少一表面沉积光刻胶层，对所述光刻胶层进行烘烤处理，制备得到第二衬底；在所述第二衬底背离所述第一衬底的表面上方放置掩膜板，对所述第二衬底进行光刻蚀处理，使所述第二衬底背离所述第一衬底的表面呈微纳结构；在所述第二衬底的微纳结构表面制备阳极及其集流体层；在所述阳极及其集流体层背离所述第二衬底的表面制备电解质层；在所述电解质层背离所述阳极及其集流体层的表面制备阴极及其集流体层；将得到的样品置于能够溶解光刻胶的有机溶剂中，清洗处理去除光刻胶材料，得到整体呈微纳结构的三维全固态薄膜燃料电池。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 三维 结构 固态 薄膜 燃料电池 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种全固态薄膜燃料电池的制备方法，其特征在于，所述全固态薄膜燃料电池具有三维微纳结构，且所述全固态薄膜燃料电池的制备方法包括以下步骤：提供含硅的第一衬底，将所述第一衬底进行表面清洁处理；在所述第一衬底的至少一表面沉积光刻胶层，对所述光刻胶层进行烘烤处理，制备得到第二衬底；在所述第二衬底背离所述第一衬底的表面上方放置掩膜板，对所述第二衬底进行光刻蚀处理，使所述第二衬底背离所述第一衬底的表面呈微纳结构；在所述第二衬底的微纳结构表面溅射沉积金属镍和稀土元素掺杂的氧化铈或金属镍和稀土元素掺杂的氧化锆，制备阳极及其集流体层；在所述阳极及其集流体层背离所述第二衬底的表面溅射沉积电解质材料，制备电解质层，所述电解质材料为稀土元素掺杂的氧化锆或稀土元素掺杂的氧化铈；在所述电解质层背离所述阳极及其集流体层的表面溅射沉积钙钛矿结构的阴极催化材料，制备阴极及其集流体层；将得到的样品置于能够溶解光刻胶的有机溶剂中，清洗处理去除光刻胶材料，得到整体呈微纳结构的全固态薄膜燃料电池。
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