[发明专利]一种柔性薄膜太阳电池及其制作方法

摘要

本发明公开了一种柔性薄膜太阳电池及其制作方法，在对待切割电池芯片结构进行切割前，首先将刚性衬底背离柔性衬底一侧进行减薄，而后再沿切割道进行切割得到至少一个初始柔性薄膜太阳电池，最后去除初始柔性薄膜太阳电池的刚性衬底得到所述柔性薄膜太阳电池。由上述内容可知，由于刚性衬底的存在而对起到支撑待切割电池芯片结构的作用，避免切割前待切割电池芯片结构发生收缩形变，同时在沿切割道进行切割时能够避免初始柔性薄膜太阳电池发生形变，进而避免最终得到的柔性薄膜太阳电池发生形变，保证了柔性薄膜太阳电池的填充因子衰减较小和电池效率较高；同时，在切割前对刚性衬底进行减薄处理，以便于切割装置进行切割。

主权项

1.一种柔性薄膜太阳电池的制作方法，其特征在于，包括：提供一待切割电池芯片结构，所述待切割电池芯片结构包括依次叠加的刚性衬底、柔性衬底、金属键合层、第二欧姆接触层、电池外延层、第一欧姆接触层、电极结构和减反射膜，其中，在所述电极结构一侧刻蚀有切割道和至少一个背电极槽，且所述切割道和背电极槽均刻蚀至所述金属键合层，所述电极结构包括至少一个上电极和多条栅线，所述第一欧姆接触层对应所述上电极和所述栅线处外为镂空，及所述减反射膜对应所述上电极和所述背电极槽处为镂空；对所述刚性衬底背离柔性衬底一侧进行减薄至预设厚度；沿所述切割道进行切割得到至少一个初始柔性薄膜太阳电池；去除所述初始柔性薄膜太阳电池的所述刚性衬底得到所述柔性薄膜太阳电池。