[发明专利]静态随机存取存储器及其制作方法有效
| 申请号： | 201910051164.X | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN111415935B | 公开（公告）日： | 2023-02-07 |
| 发明（设计）人： | 李世平;卢昱诚;黄国芳;郭佳宪 | 申请（专利权）人： | 力晶积成电子制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H10B10/00 | 分类号： | H10B10/00;H01L23/64 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种静态随机存取存储器及其制作方法，其中该静态随机存取存储器，其包含基底、第一导电型晶体管、第二导电型晶体管以及电容单元。第一导电型晶体管与第二导电型晶体管设置在基底表面，电容单元位于第一导电型晶体管与第二导电型晶体管之间，且包括一第一电极、一第二电极以及一介电层。第一电极包含多个第一突出部与一第一平坦部，其中第一突出部连接于第一平坦部并自第一平坦部的上表面突出。第二电极覆盖于第一突出部的顶面并位于相邻第一突出部之间。介电层设于该第二电极与该第一电极之间。 | ||
| 搜索关键词： | 静态 随机存取存储器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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