[发明专利]一种金属掺杂非晶碳薄膜材料、其制备方法与应用有效
申请号: | 201910050752.1 | 申请日: | 2019-01-20 |
公开(公告)号: | CN111455331B | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 张栋;汪爱英;郭鹏;柯培玲;孙丽丽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02;G01J5/20 |
代理公司: | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人: | 单英 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种金属掺杂非晶碳薄膜材料,在非晶碳结构中掺杂质量百分比为7%~15%的金属元素钛、铬、钨形成,并且金属元素固溶于非晶碳结构和/或者金属元素以金属碳化物纳米晶镶嵌于非晶碳结构。该薄膜材料具有较高的电阻温度系数与较低的电阻率,同时具有良好的红外吸收率,可作为红外热敏材料和/或红外吸收材料,在非制冷型微测辐射热计红外焦平面探测器中具有良好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 掺杂 非晶碳 薄膜 材料 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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