[发明专利]薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法及镀膜设备在审

专利信息
申请号: 201910048967.X 申请日: 2019-01-18
公开(公告)号: CN111463312A 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 辛科;杨立红 申请(专利权)人: 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0216;C23C14/14;C23C14/22;C23C14/24;C23C14/54
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 刘昕;南霆
地址: 100176 北京市大兴区北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法及镀膜设备,制备方法包括:对已形成有吸收层的衬底进行加热,调节所述衬底的温度达到预设温度阈值;根据所述衬底温度在所述吸收层远离所述背电极层的表面沉积预设厚度的碱金属层。本申请通过在吸收层表面沉积预设厚度的碱金属层,对吸收层表面进行处理,降低吸收层表面的粗糙程度,得到相对规则的吸收层表面,控制工艺参数来精确控制沉积到吸收层表面以及进入吸收层的碱金属的量,来控制吸收层表面形貌的优化,提高太阳能电池的功率。
搜索关键词: 薄膜 太阳能电池 碱金属 制备 方法 镀膜 设备
【主权项】:
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