[发明专利]基于陶瓷共烧工艺的传感单元、含有该传感单元的电化学气体传感器及传感单元的制造方法在审

专利信息
申请号: 201910037101.9 申请日: 2019-01-15
公开(公告)号: CN109557151A 公开(公告)日: 2019-04-02
发明(设计)人: 杨永超;秦浩;王洋洋;程振乾;刘玺;刘继江 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
主分类号: G01N27/26 分类号: G01N27/26
代理公司: 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人: 宋诗非
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 基于陶瓷共烧工艺的传感单元、含有该传感单元的电化学气体传感器及传感单元的制造方法,涉及电化学气体传感器领域。为了解决利用传统制造电化学气体传感器的方法困难的问题。基于陶瓷共烧工艺的传感单元,工作电极层、电解池层、辅助电极层和引出层由上至下依次层叠设置;第一电解池通孔和第二电解池通孔构成电解池腔,催化电极与第一过孔的导电金属电气连接,对电极与第三过孔的导电金属电气连接,第一过孔、第二过孔和第四过孔导电金属之间电气连接,第一引出端与第四过孔的导电金属电气连接,第二引出端与第三过孔的导电金属电气连接。本发明通过注入不同类型的电解液、不同催化电极材料等实现不同种类气体检测。
搜索关键词: 传感单元 导电金属 电气连接 电化学气体传感器 电解池 陶瓷共烧 引出端 通孔 催化电极材料 辅助电极层 工作电极层 传统制造 催化电极 依次层叠 种类气体 电解液 对电极 制造 检测
【主权项】:
1.基于陶瓷共烧工艺的传感单元,其特征在于,包括:工作电极层(1)、电解池层(2)、辅助电极层(3)和引出层(4),工作电极层(1)的陶瓷基片上开有第一通孔(1‑3)、第一电解池通孔(1‑4)、第二通孔(1‑5)和第一过孔(1‑6),第一电解池通孔(1‑4)上开口处封闭式覆盖有催化电极(1‑2),催化电极(1‑2)的上表面封闭式覆盖有透气膜(1‑1);电解池层(2)的陶瓷基片上开有第二电解池通孔(2‑1)、第三通孔(2‑2)、第四通孔(2‑3)和第二过孔(2‑4);辅助电极层(3)的陶瓷基片上开有第三过孔(3‑2)和第四过孔(3‑3),辅助电极层(3)的陶瓷基片上表面设有对电极(3‑1);引出层(4)的陶瓷基片上设有第一引出端(4‑1)和第二引出端(4‑2);工作电极层(1)、电解池层(2)、辅助电极层(3)和引出层(4)由上至下依次层叠设置;第一电解池通孔(1‑4)和第二电解池通孔(2‑1)正对且相互连通、共同构成电解池腔,该电解池腔用于填充多孔载体,多孔载体用于盛装电解液,对电极(3‑1)位于电解池腔的正下方;第二通孔(1‑5)、第三通孔(2‑2)、第二电解池通孔(2‑1)、第四通孔(2‑3)和第一通孔(1‑3)依次连通,共同构成液体流动通道;第一过孔(1‑6)、第二过孔(2‑4)、第四过孔(3‑3)和第三过孔(3‑2)内均填充有导电金属,催化电极(1‑2)通过引线与第一过孔(1‑6)的导电金属电气连接,对电极(3‑1)通过引线与第三过孔(3‑2)的导电金属电气连接,第一过孔(1‑6)、第二过孔(2‑4)和第四过孔(3‑3)相互连通、且导电金属之间电气连接,第一引出端(4‑1)与第四过孔(3‑3)的导电金属电气连接,第二引出端(4‑2)与第三过孔(3‑2)的导电金属电气连接。
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