[发明专利]一种病原体免疫检测数字微流控芯片及其制作方法

摘要

本发明涉及微流控芯片技术领域，具体涉及病原体免疫检测数字微流控芯片及其制作方法，数字微流控芯片包括下层微流控芯片和上层微流控芯片，制作方法包括如下步骤，在基底上设置电极层；电极层上设置SiO₂绝缘层；采用多层微纳加工技术，在检测电极上的绝缘层表面沉积金膜，并利用湿法刻蚀技术进行图案化；在沉积有金膜的检测电极上包被抗原或抗体；上层微流控芯片采用ITO导电玻璃，在所述ITO导电玻璃上开设有上样孔，所述上样孔与所述液滴运行通道相通；将上层微流控芯片和下层微流控芯片上下叠合在一起。所提供的病原体免疫检测数字微流控芯片外围设备简单，灵活性强，能耗低；既可以批量分析，也可以分析单个样本，对样本量的适应性强。

主权项

1.一种病原体免疫检测数字微流控芯片的制作方法，所述数字微流控芯片包括下层微流控芯片和上层微流控芯片，其特征在于，所述数字微流控芯片的制作方法包括如下步骤，步骤1：制作下层微流控芯片：(1)在基底层上设置电极层；所述电极层包括形成试剂储池的试剂电极、形成液滴运行通道的输运电极以及形成检测区的检测电极；(2)所述电极层上设置SiO2绝缘层；(3)采用多层微纳加工技术，在检测电极上的绝缘层表面沉积金膜，并利用湿法刻蚀技术进行图案化；(4)在沉积有金膜的检测电极上包被抗原或抗体；步骤2：制作上层微流控芯片：(1)所述上层微流控芯片采用ITO导电玻璃，在所述ITO导电玻璃上开设有上样孔，所述上样孔与所述液滴运行通道相通；(2)所述上层微流控芯片上设置试剂储池口，所述试剂储池口和试剂电极共同形成试剂储池；步骤3：将所述上层微流控芯片和下层微流控芯片上下叠合在一起。