[发明专利]用于高性能碱金属锑化物光电阴极制作的锑电流自动调控方法

摘要

本发明提供一种用于高性能碱金属锑化物光电阴极制作的锑电流自动调控方法，包括：碱金属蒸镀、锑蒸镀、光电流曲线拟合与预测、光电流曲线斜率判断和锑蒸发电流调整。适于碱金属和锑同时蒸镀阶段，首先对光电流曲线进行拟合，然后预测未来固定时间范围内的光电流曲线斜率是否达到期望值，再判断实际光电流曲线斜率是否达到期望值，如果两者任一个达到期望值，则对实际光电流曲线斜率是否达到指定值进行判断，最终根据判断条件进行锑蒸发电流调整，重复上述过程直到光电流曲线斜率达到指定角度结束。利用本发明可解决碱金属锑化物光电阴极制作过程中由于锑出量不可控导致的碱金属与锑比例失调的问题，提高碱金属锑化物光电阴极光电发射性能。

主权项

1.一种用于高性能碱金属锑化物光电阴极制作的锑电流自动调控方法，其特征在于，该方法包括：碱金属蒸镀，通过调整碱金属蒸发电流，使碱金属以固定蒸发量稳定析出；锑蒸镀，对锑进行除气后，将锑电流调整至析出值；光电流曲线拟合与预测，对采集到的光电流曲线走势进行拟合，同时预测后续光电流曲线斜率α；光电流曲线斜率判断，首先判断预测光电流曲线斜率α是否达到期望值，如果达到，则等待后继续判断实际光电流曲线斜率β是否达到期望值，否则立即增加锑电流；如果所述实际光电流曲线斜率β达到期望值，则等待后继续判断实际光电流曲线斜率β是否达到指定值，否则立即判断实际光电流曲线斜率β是否为正值：如果所述实际光电流曲线斜率β为正值，则等待后继续判断所述实际光电流曲线斜率是否β是否达到期望值，否则立即增加锑电流；如果所述继续判断实际光电流曲线斜率β达到期望值，则等待后判断实际光电流曲线斜率β是否达到指定值，否则立即增加锑电流；如果所述判断实际光电流曲线斜率β达到指定值，则调锑阶段结束，否则立即增加锑电流；锑电流蒸镀调整，根据预测光电流曲线斜率α是否达到期望值，以及实际光电流曲线斜率β与期望值和指定值的偏差大小进行锑电流调整。