[发明专利]一种多腔叠加式非共振光声池及气体检测系统有效
申请号: | 201910011769.6 | 申请日: | 2019-01-07 |
公开(公告)号: | CN109490217B | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 宫振峰;焦业翔;于清旭 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N21/01 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 温福雪;侯明远 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明属于痕量气体检测技术领域,提供一种多腔叠加式非共振光声池及气体检测系统。多腔叠加式非共振光声池包括圆柱形金属壳体、多个非共振光声腔、光纤法布里‑珀罗声波传感器敏感膜片、光学玻璃窗片、进气口和出气孔。光纤法布里‑珀罗声波传感器的圆形敏感膜片固定在圆柱形金属壳体的一侧,圆柱形金属壳体的另一侧由光学玻璃窗片密封。待测气体从进气口进入,扩散进入多个非共振光声腔中,从另一侧的出气口排出。本发明通过减小非共振光声腔的半径和多个光声腔内光声信号的叠加,可大幅度提高系统光声信号的强度。膜片式光纤法布里‑珀罗声波传感器作为声波探测单元,与光声腔更容易匹配,为多组分高灵敏度痕量气体的检测提供了新的解决方案。 | ||
搜索关键词: | 一种 叠加 共振 光声池 气体 检测 系统 | ||
【主权项】:
1.一种多腔叠加式非共振光声池,其特征在于,所述的多腔叠加式非共振光声池包括圆柱形金属壳体(1)、多个非共振光声腔(2)、光纤法布里‑珀罗声波传感器敏感膜片(3)、光学玻璃窗片(4)、进气口(5)和出气口(6);圆柱形金属壳体(1)两端为开口结构,其内部包含多个互通独立的圆柱形通孔,抛光后作为非共振光声腔(2);圆柱形金属壳体(1)一端通过激光焊接或胶粘的方法固定光纤法布里‑珀罗声波传感器敏感膜片(3),另一端由光学玻璃窗片(4)密封;圆柱形金属壳体(1)一端开有进气口(5),另一端开有出气口(6),待测气体从进气口(5)进入,扩散进入多个非共振光声腔(2)中,从另一端的出气口(6)排出。
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