[发明专利]一种应用于单晶炉的副炉室在审

专利信息
申请号: 201910010154.1 申请日: 2019-01-04
公开(公告)号: CN109628992A 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 傅林坚;韦韬;曹建伟;胡建荣;倪军夫;陈杭;章聪杰 申请(专利权)人: 浙江晶鸿精密机械制造有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及单晶炉的辅助设备领域,特别涉及一种应用于单晶炉的副炉室。包括副炉室本体;副炉室本体为包括内筒与外筒的双层筒体结构;法兰连接结构包括副炉室下法兰、副炉室上法兰与副炉室侧法兰;排水组件包括设于外筒外壁且与副炉室本体轴线平行的导水条,导水条底端连接副炉室水嘴。本发明的法兰和筒体结构焊接形成内部具有良好的密封效果,且在两端法兰处连接密封效果也是同样优秀,提高了副炉室的密封性能;提高了冷却效率,从而提高单晶炉的硅棒单次生产重量以及长度,降低辅助材料的替换频率。随着副炉室长度的增加,可以使拉晶的长度增加,可以达到使拉晶长度更长的效果。
搜索关键词: 副炉室 单晶炉 导水 拉晶 法兰连接结构 双层筒体结构 长度增加 辅助材料 辅助设备 冷却效率 连接密封 密封效果 密封性能 排水组件 筒体结构 外筒外壁 轴线平行 侧法兰 法兰处 上法兰 下法兰 底端 法兰 副炉 硅棒 内筒 水嘴 外筒 焊接 应用 替换 生产
【主权项】:
1.一种应用于单晶炉的副炉室;其特征在于,包括副炉室本体、法兰连接结构、排水组件;所述副炉室本体为包括内筒与外筒的双层筒体结构;外筒外壁顶端设有温度传感器安装板,用于安装温度测量组件,底端设有锁紧安装块;所述法兰连接结构包括副炉室下法兰、副炉室上法兰与副炉室侧法兰;所述副炉室上法兰与副炉室下法兰分别设于副炉室本体的顶端与底端,并保证轴线重合;外筒外壁顶部设有侧法兰连接管,侧法兰连接管为双层管体结构,包括侧法兰内接管与侧法兰外接管;侧法兰连接管管口连接副炉室侧法兰;所述排水组件包括设于外筒外壁且与副炉室本体轴线平行的导水条,导水条底端连接副炉室水嘴;导水条侧部的外筒外壁上,设有若干有一定间隔且沿副炉室轴线排布的副炉室安装柱,用于加固副炉室内筒外壁与外筒内壁之间的连接;所述排水组件还包括设于外筒内壁与内筒外壁间的副炉室隔水条,副炉室隔水条为环形,组成多圈相互平行的水道,每圈水道内的相邻两隔水条间存在间隙。
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