[发明专利]超厚薄膜的测量方法和测量装置有效
| 申请号： | 201910001692.4 | 申请日： | 2019-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN109540007B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张硕;邓常敏;周毅;芈健 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳;高德志 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种超厚薄膜的测量方法和测量装置，其中所述超厚薄膜的测量方法，通过计算理论光谱与量测光谱的峰位相关性，将峰位相关性最高的点对应的理论光谱所对应的厚度作为测量厚度，即本申请中对超厚薄膜进行测量时，相对于传统椭圆偏振法采用的内差法或者均方根偏差计算获得薄膜厚度的方法，通过理论光谱与量测光谱的峰位相关性而非特定波长上理论光谱与量测光谱光强的差值权重来作为厚度测量的依据，从而实现对超厚薄膜的厚度测量，并可以获得可靠的测量结果。 | ||
| 搜索关键词： | 厚薄 测量方法 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种超厚薄膜的测量方法，其特征在于，包括步骤：获得待测薄膜的红外光波段的全波段的量测光谱；获得待测薄膜的材料对应的理论光谱；计算理论光谱与量测光谱的峰位相关性，将峰位相关性最高的点对应的理论光谱所对应的厚度作为测量厚度。
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