[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法在审
| 申请号： | 201880099763.2 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN113167767A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 吉田康纪;畠堀贵秀;田窪健二 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N29/06 | 分类号： | G01N29/06;G01N29/24 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 该缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)；激光照明(2)；干涉部(3)，其使激光发生干涉；摄像部(35)，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制部(4)，其基于由摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分。控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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