[发明专利]异物检查装置及异物检查方法在审
| 申请号： | 201880094390.X | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN112262313A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 佐野荣一;中村瑞树 | 申请（专利权）人： | FK光学研究所股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/94 |
| 代理公司： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王轶;李伟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种异物检查装置，在检查附着于检查对象的异物时能够实现异物检测精度的提高。本发明的异物检查装置(1)用于检查附着于检查对象(4)的表面上的异物；异物检查装置(1)具备：光源部(3a、3b)，其将照明光(L)照射于检查对象(4)；拍摄部(2a～2r)，其对检查对象(4)进行拍摄；以及检测部，其基于由拍摄部(2a～2r)拍摄到的图像，来检测异物。在检测部中，作为异物的检测对象的图像是以拍摄部(2a～2r)拍摄的图像中的入射有照明光(L)那一侧的一部分区域。 | ||
| 搜索关键词： | 异物 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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