[发明专利]带电粒子束装置在审
| 申请号： | 201880092617.7 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN112005333A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 大津贺一雄;今井悠太;野间口恒典 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴秋明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 带电粒子束装置，包含：带电粒子源，生成对样品照射的带电粒子束；带电粒子检测部，检测当对所述样品照射了所述带电粒子束时发生的带电粒子；强度数据生成部，生成由所述带电粒子检测部检测出的带电粒子的强度的数据；波高值数据生成部，生成由所述带电粒子检测部检测出的带电粒子的波高值的数据；以及输出部，输出基于所述强度的数据的所述样品的第1图像、和基于所述波高值的数据的所述样品的第2图像。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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