[发明专利]光电二极管以及制造方法、传感器、传感阵列

摘要

提供一种光电二极管以及制造方法、传感器、传感阵列。该光电二级管包括：半导体衬底（300）；外延层（310）,形成在半导体衬底（300）上；光电二极管区（320）,形成于外延层（310）的预定区域内，用于生成光生载流子（370）,光电二极管区（320）包括至少两个掺杂区域（321、322、323）,至少两个掺杂区域中不同电势的掺杂区域从光电二极管区（320）的边缘向光电二极管区（320）的几何中心的方向排布。该光电二级管实现了将光电二极管区内随机分布的光生载流子先集中于指定位置再通过该指定位置到达传输栅级（350）,显著提高了光电二极管的响应速度和测量精度。