[发明专利]具有绝对压力和差压换能器的质量流量控制器在审
| 申请号： | 201880091709.3 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN111902786A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 约翰·勒尔;安东尼·基奥;伯温·班纳斯 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01F1/00 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 示例质量流量控制器包含流动通路、层流元件和压力换能器组装件，流动通路包含第一腔体和第二腔体，压力换能器组装件包含绝对压力换能器和差压换能器，绝对压力换能器暴露于第三腔体中的绝对压力，该第三腔体与第一腔体流体连通，差压换能器暴露于第三腔体与第二腔体之间的差压。质量流量控制器还包含流量控制阀，该流量控制阀在层流元件下游，并且根据压力换能器组装件所感测到压力来致动。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 绝对 压力 差压换能器 质量 流量 控制器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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