[发明专利]样品分析方法、样品导入装置在审

专利信息
申请号: 201880090671.8 申请日: 2018-12-20
公开(公告)号: CN111801573A 公开(公告)日: 2020-10-20
发明(设计)人: 荒木健司 申请(专利权)人: 信越半导体株式会社
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62;H01J49/10;H05H1/30;H01J49/04
代理公司: 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 代理人: 周蕾
地址: 日本国东京*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 利用喷雾器(4)将样品溶液转换为样品雾气之后,在脱溶媒部(7)通过加热使之进行脱溶媒,将含有经脱溶媒后的样品雾气和载气的样品气体通过样品导入管(9)倒入到电浆炬30。在样品导入管(9)设置添加部(10),其添加含有水分的载气即含水气体。添加部(10)具备:容器(11),其装有超纯水;气体管(12),其向超纯水中导入载气并使其起泡;及气体管(14),其将由起泡产生的含水气体添加到样品导入管(9)。电浆炬(30),以将供给电力设为550 W~700 W的条件产生感应耦合电浆。由此,将含有通过加热而脱溶媒的样品雾气和搬送该样品雾气的载气的样品气体导入到电浆中,并对通过电浆而离子化的样品中的元素进行分析时,抑制因为离子化电位较高的元素所引起的干扰分子离子的产生。
搜索关键词: 样品 分析 方法 导入 装置
【主权项】:
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