[发明专利]高度缩放的线性GaN HEMT结构在审
| 申请号: | 201880088743.5 | 申请日: | 2018-12-12 |
| 公开(公告)号: | CN111868931A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
| 发明(设计)人: | 文贞顺;安德里亚·科林;J·C·王;亚当·J·威廉姆斯 | 申请(专利权)人: | HRL实验室有限责任公司 |
| 主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/66;H01L29/10;H01L29/417 |
| 代理公司: | 北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙) 11412 | 代理人: | 于未茗 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 一种晶体管包括衬底、耦合到衬底的沟道层、耦合到沟道层的源极、耦合到沟道层的漏极、以及在源极与漏极之间耦合到沟道层的栅极。栅极在靠近沟道层之处具有小于50纳米的长度尺寸,并且沟道层包括至少第一GaN层和在第一GaN层上的第一缓变AlGaN层。 | ||
| 搜索关键词: | 高度 缩放 线性 gan hemt 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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