[发明专利]高度缩放的线性GaN HEMT结构在审

专利信息
申请号: 201880088743.5 申请日: 2018-12-12
公开(公告)号: CN111868931A 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 文贞顺;安德里亚·科林;J·C·王;亚当·J·威廉姆斯 申请(专利权)人: HRL实验室有限责任公司
主分类号: H01L29/778 分类号: H01L29/778;H01L29/66;H01L29/10;H01L29/417
代理公司: 北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙) 11412 代理人: 于未茗
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种晶体管包括衬底、耦合到衬底的沟道层、耦合到沟道层的源极、耦合到沟道层的漏极、以及在源极与漏极之间耦合到沟道层的栅极。栅极在靠近沟道层之处具有小于50纳米的长度尺寸,并且沟道层包括至少第一GaN层和在第一GaN层上的第一缓变AlGaN层。
搜索关键词: 高度 缩放 线性 gan hemt 结构
【主权项】:
暂无信息
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