[发明专利]成像入射角跟踪器有效
| 申请号： | 201880077191.8 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111417835B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | J·S·布鲁克;H·Z·马;S·巴顿;E·列瑟;B·德莱西奥 | 申请（专利权）人： | 统雷有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;G01S17/66;G02B21/24;G02B21/32 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 桑传标 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种成像入射角跟踪装置，包括：光源；第一和第二分束器或二向色镜；以及位置灵敏探测器；其中所述第一和第二分束器或二向色镜配置为将来自所述光源的光通过物镜引导至窗口表面；所述第一和第二分束器或二向色镜还配置为将从所述窗口表面反射并穿过所述物镜的光引导至所述位置灵敏探测器。一种定位系统，包括：基板；平台；以及连接所述基板和所述平台的多个支撑组件；其中每个所述支撑组件包括：线性致动器；在所述支撑组件的所述第一端和第二端的第一挠性组件和第二挠性组件；所述第一和第二挠性组件在沿所述支撑组件的长度方向上呈刚性，并且在正交于所述支撑组件的长度方向上可挠性弯曲。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 入射角 跟踪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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