[发明专利]具有悬浮膜并在锚边缘具有圆角的电容式压力传感器和其他器件有效
| 申请号： | 201880074409.4 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN111684252B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 威廉·弗雷德里克·阿德里亚努斯·贝斯林;卡斯·范德阿福尔特;瑞曼科·亨里克斯·威廉姆斯·皮内伯格;奥拉夫·文尼肯;耶格·西格特;亚历山大·费斯 | 申请（专利权）人： | 希奥检测有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L19/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 罗小晨;刘继富 |
| 地址： | 荷兰埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种半导体器件，包括集成电路和电容式压力传感器，该电容式压力传感器设置在集成电路之上并且与集成电路电连接。电容式压力传感器包括：第一电极；空腔，其位于第一电极之上；以及第二电极，其包括位于空腔之上的悬浮膜。第二电极还包括横向围绕空腔的导电锚槽。锚槽包括内锚槽和外锚槽，其中，外锚槽具有圆角。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 悬浮 边缘 电容 压力传感器 其他 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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