[发明专利]封端单元有效
申请号: | 201880070999.3 | 申请日: | 2018-10-15 |
公开(公告)号: | CN111295824B | 公开(公告)日: | 2023-09-15 |
发明(设计)人: | D·弗德椰克 | 申请(专利权)人: | 阿努米克斯私营有限责任公司 |
主分类号: | H02K11/01 | 分类号: | H02K11/01;H01J37/34;C23C14/34;C23C14/35 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 秦晨 |
地址: | 比利时*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 用于沉积系统的封端单元(300),包括用于实现功能的设备(100),该设备包括至少一个包括电工钢的部件(110),以及至少一个导电的屏蔽元件(120)。该屏蔽元件被配置为使得:减轻对设备的功能没有贡献的相邻电流对包括电工钢的部件(120)的影响,其中该相邻电流具有第一拓扑;并且使得没有显著减轻具有与第一拓扑不同的拓扑的至少一个相邻电流的影响。该设备另外包括电流传输装置(140),该电流传输装置(140)与至少一个包括电工钢的部件(110)相邻,并且适于根据第一拓扑引导电流并且适于当其安装在封端单元上时向靶传输功率。 | ||
搜索关键词: | 单元 | ||
【主权项】:
暂无信息
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