[发明专利]曝光装置和物品制造方法在审
| 申请号： | 201880069270.4 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN111356955A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 河野道生 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/00;G02B7/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种曝光装置，包括：投影光学系统，该投影光学系统将曝光光投影到基板上以在基板上形成图案；遮光构件，包括允许由基板反射的光通过的开口；以及光接收元件，接收在由基板反射之后通过开口的光束，其中，根据由光接收元件接收到的光量来执行改变散焦量的聚焦控制。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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