[发明专利]线性高能射频等离子体离子源有效
| 申请号： | 201880068516.6 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN111247617B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 克雷格·A·奥滕 | 申请（专利权）人： | 丹顿真空设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J23/08 | 分类号： | H01J23/08;H01J37/32;H03K3/011;H05B6/72;H05H1/32;F28D1/053 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘凤玲 |
| 地址： | 美国新泽西*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种等离子体离子源，包括等离子体腔体，该等离子体腔体具有至少一个用于将进料气体引入等离子体腔体的内部的入口。等离子体腔体与附接到等离子体腔体的真空腔电隔离。等离子体腔体的内部中的电感天线配置为根据供应到电感天线上的RF电压来供应电磁能量源。等离子体离子源包括设置在等离子体腔体的端部的引出栅格。引出栅格和等离子体腔体之间的电压差加速等离子体放电中的带电物质，以产生输出准中性等离子体离子束。施加至等离子体腔体的偏置电压包括与脉冲DC电压结合的供应至天线的RF电压的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 高能 射频 等离子体 离子源 | ||
【主权项】：
暂无信息
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