[发明专利]筒辊与长条基板处理装置有效
| 申请号： | 201880067481.4 | 申请日： | 2018-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN111225995B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 大上秀晴 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种不会从未卷绕有长条基板的筒辊(56)的非缠膜部区域泄漏冷却用气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置。本发明是一种带有气体释放机构的筒辊，通过由具有滑动面的旋转环单元(21)与固定环单元(22)构成的旋转接头(20)来有选择性地对设置于筒辊的多个气体导入通路(14)供给上述气体，所述筒辊的特征在于，通过嵌入在固定环单元的环状凹槽(27a)内的圆弧状填料部件(42)将设置于旋转环单元的滑动面的旋转开口部(23a)关闭从而防止从非缠膜部区域泄漏气体，并且所应用的圆弧状填料部件在与旋转环单元的气体控制用滑动接触面相对的一面具有端部倾斜面(42b)。在按压填料部件的状态下将其固定时，通过上述端部倾斜面(42b)的作用从而避免填料部件端部的上浮。 | ||
| 搜索关键词： | 长条 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友金属矿山株式会社，未经住友金属矿山株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880067481.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于制备饮料的机器和方法
- 下一篇：唤醒管理方法、定时器管理方法及终端设备
- 同类专利
- 专利分类
