[发明专利]反应装置以及三氯硅烷的制造方法在审
| 申请号： | 201880067043.8 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN111225873A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 弘田贤次;荻原克弥 | 申请（专利权）人： | 株式会社德山 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01J8/24 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 刘金峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于防止反应装置的集管(40)中的应力腐蚀开裂。本发明提供一种用于金属硅粉与氯化氢气体反应而生成三氯硅烷的反应装置，所述反应装置具备冷却器(70)，所述冷却器包含多个热介质管(30)和集管(40)，所述多个热介质管设置在反应装置内部的流化床(60)内，所述集管设置在反应装置内部的自由空域部(50)，所述集管由耐腐蚀性材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 装置 以及 硅烷 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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