[发明专利]辐射源有效
| 申请号： | 201880063864.4 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN111164516B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 倪永锋 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 超连续谱辐射源包括：辐射源、光学放大器和非线性光学介质。辐射源能够操作以产生脉冲辐射束。光学放大器配置成接收脉冲辐射束并增加脉冲辐射束的强度。非线性光学介质被配置为接收被放大的脉冲辐射束，并展宽该被放大的脉冲辐射束的光谱，从而产生超连续谱辐射束。光学放大器可以将泵浦辐射束供应至增益介质，所述泵浦辐射束的强度是周期性的并具有泵浦频率，所述泵浦频率是脉冲辐射束的频率的整数倍。光学放大器可以仅当脉冲辐射束的脉冲传播通过增益介质时将泵浦能量供应至增益介质。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射源 | ||
【主权项】：
暂无信息
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