[发明专利]烘箱控制的MEMS振荡器以及用于校准MEMS振荡器的系统和方法在审

专利信息
申请号: 201880062284.3 申请日: 2018-05-23
公开(公告)号: CN111133675A 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 维莱·卡亚卡里 申请(专利权)人: 株式会社村田制作所
主分类号: H03B5/04 分类号: H03B5/04;H03B5/00;H03H9/02;H03L1/02
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 唐京桥;杨林森
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了一种用于烘箱控制的MEMS振荡器的校准系统。该校准系统包括控制电路系统,该控制电路系统分别选择预先确定的目标设定点值并且基于所选择的目标设定点值中的每一个来控制烘箱控制的MEMS振荡器内的加热器,以调整烘箱控制的MEMS振荡器的设定点。该系统还包括振荡测量电路,该振荡测量电路测量在与所选择的预先确定的目标设定点值中的每一个对应的每个调整的设定点处的相应振荡频率。所测量的振荡频率然后可以被用于确定用于烘箱控制的MEMS振荡器的目标设定点操作值,该目标设定点操作值可以被用于校准烘箱控制的MEMS振荡器。
搜索关键词: 烘箱 控制 mems 振荡器 以及 用于 校准 系统 方法
【主权项】:
暂无信息
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