[发明专利]扫描天线和扫描天线的制造方法有效

专利信息
申请号: 201880050784.5 申请日: 2018-08-02
公开(公告)号: CN110998965B 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 美崎克纪 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: H01P11/00 分类号: H01P11/00;H01Q3/34;H01Q3/44;H01Q13/22;H01Q21/06;H05K1/09;H05K1/16
代理公司: 北京市隆安律师事务所 11323 代理人: 权鲜枝;张艳凤
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种扫描天线的制造方法,扫描天线中排列有多个天线单位,扫描天线具有:TFT基板,其具有第1电介质基板、TFT、栅极总线、源极总线、以及多个贴片电极;缝隙基板,其具有:第2电介质基板(51)和具有与多个贴片电极对应地配置的多个缝隙(57)的缝隙电极(55);液晶层;以及反射导电板,扫描天线的制造方法包含:工序(a),在第2电介质基板的第1主面上沉积包含铜的第1导电膜(55a’);工序(b),在工序(a)之后,使第1导电膜与大气接触,从而在第1导电膜的表面形成氧化膜(55o’);以及工序(c),在工序(b)之后,在氧化膜上沉积包含铜的第2导电膜(55b’)。
搜索关键词: 扫描 天线 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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