[发明专利]具有高分辨率的电子束设备有效
| 申请号： | 201880050630.6 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111051985B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 姜辛容;C·西尔斯 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 磁枪透镜及静电枪透镜可用于电子束设备且可有助于在扫描电子显微镜、检查及/或检验使用中为所有可用电子束电流提供高分辨率。提取射束可使用所述磁枪透镜通过射束限制孔径而导引在晶片处。所述电子束还可在所述电子束通过所述射束限制孔径之后通过静电枪透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 高分辨率 电子束 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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