[发明专利]图案形成方法、层叠体及触摸面板制造方法在审
| 申请号： | 201880049818.9 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110998457A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 汉那慎一;有富隆志 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/004;G03F7/09;G03F7/20;G06F3/041;H05K3/00;H05K3/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种图案形成方法、层叠体或触摸面板制造方法，所述图案形成方法依次具有：准备在两面具有对于曝光波长为透明的被蚀刻层的、对于曝光波长为透明的基材的工序；在上述基材的两面的上述被蚀刻层上分别形成对于曝光波长而言的光密度为0.50以上且2.50以下的感光性树脂层的工序；对上述感光性树脂层进行图案曝光的工序；通过对上述感光性树脂层进行显影而在两面形成抗蚀剂图案的工序；去除未被上述抗蚀剂图案被覆的部分的上述被蚀刻层的工序；及剥离上述抗蚀剂图案的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 层叠 触摸 面板 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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