[发明专利]用于管腔内超声成像换能器的埋入式沟槽以及相关的设备、系统和方法

摘要

一种管腔内超声成像设备包括柔性细长构件，其被配置为被定位在患者的身体管腔内。所述柔性细长元件包括近侧部分和远侧部分。所述设备还包括设置在所述柔性细长构件的远侧部分处的超声成像组件。所述超声成像组件被配置为获得所述身体管腔的成像数据。所述超声成像组件包括换能器阵列，所述换能器阵列包括衬底、设置在所述衬底上方的氧化硅层以及设置在所述氧化硅层上的多行微机械超声换能器元件。所述多行微机械超声换能器元件中的两行由通过蚀刻形成在所述氧化硅层中的屏蔽而形成的沟槽隔开。还提供了相关联的设备、系统和方法。