[发明专利]用于粘贴树脂膜的系统以及方法

摘要

本发明提供一种在对规定形状的定形片体粘贴树脂膜的RTP系统中，减少作为粘贴的结果而得到的定形片体层叠体的翘曲的树脂膜粘贴用的系统以及方法。树脂膜粘贴系统使用由长条带状的载体膜和经由粘合剂层层叠在所述载体膜上的规定宽度方向尺寸的树脂膜构成的树脂膜层叠体，所述树脂膜粘贴系统用于在粘贴单元中将包括在所述载体膜上与所述粘合剂层一起被裁切成规定长度方向尺寸的所述树脂膜在内的带粘合剂层的树脂膜片从所述载体膜剥离并粘贴于规定形状的定形片体，其中，所述树脂膜粘贴系统具备：树脂膜层叠体供给机构，所述树脂膜层叠体供给机构将所述树脂膜层叠体向所述粘贴单元输送；剥离部件，所述剥离部件设置于所述粘贴单元，用于从输送到该粘贴单元的所述树脂膜层叠体剥离带粘合剂层的树脂膜片；载体膜卷绕机构，所述载体膜卷绕机构用于卷绕所述带粘合剂层的树脂膜片被剥离后的载体膜；定形片体输送装置，所述定形片体输送装置用于向所述粘贴单元输送所述定形片体；粘贴机构，所述粘贴机构用于将从所述载体膜剥离的所述带粘合剂层的树脂膜片粘贴于被输送到所述粘贴单元的所述定形片体，所述粘贴机构设置于所述粘贴单元；以及驱动控制部，为了在所述树脂膜粘贴于所述定形片体而得到的定形片体层叠体中不产生气泡，所述驱动控制部对所述载体膜卷绕机构以及所述粘贴机构进行驱动控制，使得(1)在从所述粘贴机构的粘贴处理的开始到粘贴完成为止的期间的至少一部分中，所述载体膜卷绕机构的卷绕速度比所述粘贴机构的粘贴速度大，并且，(2)在从所述粘贴机构开始粘贴处理起经过规定时间的期间，所述载体膜卷绕机构的卷绕速度成为所述粘贴机构的粘贴速度以上。