[发明专利]用于脆性材料的安全经济蒸发的靶组件有效
| 申请号： | 201880045797.3 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110892502B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 耶格·科什保尔;H·博瓦蒂;西格弗里德·克拉斯尼策尔;马库斯·埃塞尔巴赫 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 瑞士普费*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明披露了一种靶组件，其允许安全、无裂且经济的靶材工作，伴随在电弧蒸发工艺以及溅射工艺中的低的断裂韧度和/或抗弯强度。本发明披露了一种用于PVD工艺的靶组件，包括靶和靶保持机构(20)，其特征是，该靶(10)包括第一卡口锁，该靶保持机构(20)包括用于靶的第一卡口锁的配对体和用于在沉积室的冷却机构内接合靶组件的第二卡口锁。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 脆性 材料 安全 经济 蒸发 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔，未经欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880045797.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：存储器单元的基于时间存取
- 下一篇：导电性粘接剂组合物
