[发明专利]氮含量高的氮化硅膜有效
| 申请号： | 201880044202.2 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110832109B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 阿达西·巴苏;斯里尼瓦斯·D·内曼尼;怡利·Y·叶 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C07D251/00 | 分类号： | C07D251/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述用于沉积更高氮含量的氮化硅膜的方法。某些方法包括：将基板暴露于硅氮前驱物及氨等离子体，以形成可流动聚合物；和，然后固化该聚合物以形成氮化硅膜。某些方法在没有使用UV固化工艺的情况下固化可流动聚合物。也描述由上述方法生成的膜。 | ||
| 搜索关键词： | 含量 氮化 | ||
【主权项】：
暂无信息
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