[发明专利]树脂膜形成用膜及树脂膜形成用复合片有效
| 申请号： | 201880042700.3 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN110831766B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 布施启示 | 申请（专利权）人： | 琳得科株式会社 |
| 主分类号： | B32B27/00 | 分类号： | B32B27/00;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种树脂膜形成用膜，其满足以下的条件(i)及(ii)：(i)使用层叠多片所述树脂膜形成用膜而成的、大小为50mm×50mm、厚度为200μm的第一层叠体制成第一试验片，将该第一试验片在纯水中浸渍了2小时时，所述第一试验片的吸水率为0.55％以下；(ii)使用将所述树脂膜形成用膜贴附在硅镜面晶圆上而成的第二层叠体制成第二试验片，使该第二试验片在23℃、50％RH的环境下经时30分钟时及将该经时后的第二试验片在纯水中浸渍了2小时时、即在浸渍前后，对树脂膜形成用膜或其固化物与硅镜面晶圆之间的粘着力进行测定时，粘着力变化率为60％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 形成 复合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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