[发明专利]压电麦克风芯片及压电麦克风有效
| 申请号： | 201880030095.8 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN110603817B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 直野崇幸 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02;B81B3/00;H01L41/053;H01L41/113;H01L41/187;H04R1/02;H04R1/06;H04R3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 韩香花;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种声压检测信号的灵敏度高且适合装配于封装的压电麦克风芯片及压电麦克风。在本发明的压电麦克风芯片中，具备：1张薄板；隔板支撑构件，设置于薄板的一面，并由支撑薄板外缘的外缘支撑部及与外缘支撑部相互作用以将薄板分隔为多个隔板的分离支撑部构成；单个或多个压电转换部，在各隔板上，从各隔板侧依次层叠第1电极、压电体膜及第2电极而成；及信号检测电路，检测来自设置于多个隔板上的压电转换部的输出，并且将外缘支撑部的厚度t |
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| 搜索关键词： | 压电 麦克风 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种压电麦克风芯片，其具备：/n1张薄板；/n隔板支撑构件，其设置于该薄板的一面，该隔板支撑构件由支撑该薄板的外缘的外缘支撑部以及与该外缘支撑部相互作用而将所述薄板分隔为多个隔板的分离支撑部构成；/n单个或多个压电转换部，该单个或多个压电转换部是通过在所述各隔板上从该各隔板侧起依次层叠第1电极、压电体膜以及第2电极而形成的；以及/n信号检测电路，其检测来自设置于所述多个隔板上的所述压电转换部的输出，/n所述外缘支撑部的厚度t
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