[发明专利]用于确定蒸汽的浓度的装置和方法有效
| 申请号： | 201880029467.5 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN110603343B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | M.朗 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/54;G01N29/036 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 孟婧 |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定容积(2)中的蒸汽的分压或者浓度的装置，所述装置具有能够振荡的、能够调节至蒸汽的冷凝温度以下的温度的传感器体(5)，所述传感器体的振荡频率被在其传感器表面(6)上由冷凝的蒸汽形成的质量累积影响，其中，传感器体(5)的远离传感器表面(6)指向的背侧(7)贴靠在热传递体的热传递面(9)上。热传递体由能够被电加热的加热元件(8)形成，所述加热元件(8)以不同于所述热传递面(9)的散热面(18)与冷却元件(11)导热地连接，其中，热传递面(9)基本上平行于散热面(18)延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 蒸汽 浓度 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定容积(2)中的蒸汽的分压或者浓度的装置，所述装置具有能够振荡的、能够调节至蒸汽的冷凝温度以下的温度的传感器体(5)，所述传感器体的振荡频率受到在传感器体的传感器表面(6)上由冷凝的蒸汽形成的质量累积的影响，其中，传感器体(5)的远离传感器表面(6)指向的背侧(7)贴靠在能够被冷却元件(11)冷却的并且构造为加热元件(8)的热传递体的热传递面(9)上，其特征在于，所述热传递体以不同于所述热传递面(9)的散热面(18)与冷却元件(11)导热地连接。/n
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