[发明专利]用于基于光热效应的红外扫描近场光学显微镜的方法与装置有效
| 申请号： | 201880028547.9 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN110573887B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 杨红华;克雷格·普拉特 | 申请（专利权）人： | 布鲁克纳米公司 |
| 主分类号： | G01Q70/08 | 分类号： | G01Q70/08;G01N21/35;G01N21/65;G01J3/44 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于测量样本的子微米区域的红外吸收的系统和方法。红外光源可以照射位于与扫描探针显微镜(SPM)的针尖相互作用的区域中的样本，以产生与样本区域的红外吸收有关的光学性质的可测量变化的方式对样本进行刺激。探测光源指向样本和SPM针尖的区域，并且，从针尖和样本区域发出的探测光得到收集。所收集的光可用于导出样本区域的红外吸收光谱信息，可以是子微米尺度上的样本区域的红外吸收光谱信息。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基于 光热 效应 红外扫描 近场 光学 显微镜 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种测量样本区域的红外吸收光谱的方法，所述方法包括：/na.使扫描探针显微镜的针尖与所述样本区域相互作用；/nb.用来自红外光源的红外光束照射所述样本区域；/nc.用来自窄带光源的探测光照射所述样本区域和针尖；/nd.收集所述探测光，其中，所收集的探测光被反射并从所述样本区域散发；以及/ne.分析所收集的探测光以构建指示所述样本区域的红外吸收光谱的信号。/n
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