[发明专利]水流式超声波清洗机及其喷头、超声波清洗方法在审

专利信息
申请号: 201880027560.2 申请日: 2018-07-25
公开(公告)号: CN110730693A 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 疋田智美 申请(专利权)人: 本多电子株式会社
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;H01L21/02;H01L21/67
代理公司: 11280 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 代理人: 胡强;许峰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种水流式超声波清洗机喷头,其能够与清洗液的供给开始几乎同时地启动超声波,并能够容许短时间的干烧。本发明的水流式超声波清洗机喷头(11)将叠加有超声波的清洗液(W1)作为水流喷出而对被清洗物(2)进行超声波清洗,其具备喷头主体(12)、板状的超声波振子(31)、振动体(41)。喷头主体(12)具有成为供清洗液(W1)流动的流路(R1)的一部分的前端尖细形状的空洞部(14)、和将空洞部(14)内的清洗液(W1)喷出的喷出口(15)。板状的超声波振子(31)配置于空洞部(14)的基端侧。振动体(41)由具有耐化学腐蚀性的非金属无机材料构成。振动体(41)紧密固定于超声波振子(31)的前端面(31b),并占有空洞部(14)的内部空间(18)的一半以上的容积。清洗液(W1)从振动体(41)的外表面与空洞部(14)的内壁面之间的间隙(46)流过。
搜索关键词: 空洞部 清洗液 振动体 超声波振子 喷头 超声波清洗机 喷头主体 超声波 水流式 板状 喷出 非金属无机材料 耐化学腐蚀性 超声波清洗 被清洗物 紧密固定 前端尖细 内壁面 喷出口 前端面 干烧 基端 流路 叠加 配置 流动
【主权项】:
1.一种水流式超声波清洗机喷头,其将叠加有超声波的清洗液作为水流喷出,由此对被清洗物进行超声波清洗,其特征在于,具备:/n喷头主体,其具有前端尖细形状的空洞部,该空洞部成为供所述清洗液流动的流路的一部分,并且所述喷头主体在所述空洞部的前端具有将所述空洞部内的所述清洗液喷出的喷出口;/n板状的超声波振子,其配置于所述空洞部的基端侧;和/n振动体,其由具有耐化学腐蚀性的非金属无机材料构成,紧密固定于所述超声波振子的前端面,并占有所述空洞部的内部空间的一半以上的容积,/n所述水流式超声波清洗机喷头以使所述清洗液经由所述振动体的外表面与所述空洞部的内壁面之间的间隙而流动的方式构成。/n
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